Normen für die Reinraumtechnik

SN EN ISO 14644 Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche.

SN EN ISO 14644-1:2016-05 - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
SN EN ISO 14644-2:2016-05 - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
SN EN ISO 14644-3:2006-03 - Teil 3: Prüfverfahren
SN EN ISO 14644-4:2001-06 - Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme
SN EN ISO 14644-5:2005-03 - Teil 5: Betrieb
SN EN ISO 14644-7:2005-01 - Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments)
SN EN ISO 14644-8:2013-05 - Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC)
SN EN ISO 14644-9:2012-10 - Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit
SN EN ISO 14644-10:2013-05 - Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit
SN EN ISO 14644-13:2017-12 - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen
SN EN ISO 14644-14:2016-12 - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft
DIN EN ISO 14644-15:2017-03 - Teil 15: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Ausrüstungsgegenständen und Materialien anhand der chemischen Luft- und Oberflächenkonzentration

VDI 2083 Reinraumtechnik

VDI 2083-1:2013-01 - Partikelreinheitsklassen der Luft
VDI 2083-2:2015-04 - Festlegungen zur Prüfung und Überwachung der fortlaufenden Übereinstimmung mit den Anforderungen
VDI 2083-3.1:2012-06 - Messtechnik in der Reinraumluft - Monitoring
VDI 2083-4.1:2006-10 - Planung, Bau und Erst-Inbetriebnahme von Reinräumen
VDI 2083-4.2:2011-04 - Energieeffizienz
VDI 2083-5.1:2007-09 - Betrieb von Reinräumen
VDI 2083-7:2015-10 - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung
VDI 2083-8.1:2014-10 - Luftreinheit anhand chemischer Konzentration (ACC)
VDI 2083-9.1:2006-12 - Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit
VDI 2083-9.2:2017-01 - Verbrauchsmaterialien im Reinraum (Entwurf)
VDI 2083-12:2000-01 - Sicherheits- und Umweltschutzaspekte
VDI 2083-13.1:2009-01 - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Grundlagen
VDI 2083-13.2:2009-01 - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen
VDI 2083-13.3:2010-10 - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Pharmazie und andere Life-Science-Anwendungen
VDI 2083-15:2007-04 - Personal am Reinen Arbeitsplatz
VDI 2083-16.1:2010-08 - Barrieresysteme (Isolatoren, Mini-Environments, Reinraummodule) - Wirksamkeit und Zertifizierung
VDI 2083-16.2:2015-10 - Barrieresysteme - Mini-Environments (Entwurf)
VDI 2083-17:2013-06 - Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
VDI 2083-18:2012-01 - Biokontaminationskontrolle
VDI 2083-19:2016-10 - Dichtheit von Containments; Klassifizierung, Planung und Prüfung (Entwurf)
VDI 2083-20:2016-10 - Bestimmung der Desorptionskinetik von Werkstoffen nach Begasung (Entwurf)

Weitere Dokumentationen

Merkblätter